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机构	日期	题名	作者
國立交通大學	2014-12-16T06:17:17Z	掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置	呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛
國立交通大學	2014-12-16T06:11:46Z	掺碳氮化矽薄膜及其製造方法與裝置	呂志鵬; 凃弘恩; 邱維剛
國立交通大學	2014-12-12T02:45:32Z	利用電漿輔助化學氣相沉積系統製備低介電碳氮化矽薄膜之研究	凃弘恩; Tu, Hung-En; 呂志鵬; Leu, Jihperng

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