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國立臺灣大學 2005-02 THE GROWTH AND CHARACTERIZATION OF SiGeC ALLOY BY ULTRA-HIGH-VACUUM CHEMICAL VAPOR DEPOSITION 利用UHVCVD 來製造之矽鍺碳層其成長與特性 李秋宗; 劉寅昕; 陳自強; 余承曄; 陳邦旭; 曾揚岱; 劉致為

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