臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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Institution	Date	Title	Author
國立交通大學	2014-12-16T06:17:28Z	利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程	雷添福; 張子云; 陳筱薇
國立交通大學	2014-12-16T06:13:46Z	一種利用非晶矽及氧化層堆疊形成奈米級超淺接面之製程	雷添福; 張子云; 溫凰君
國立交通大學	2014-12-16T06:13:46Z	利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程	雷添福; 張子云; 陳筱薇
國立交通大學	2014-12-12T02:30:38Z	利用氟氮摻雜與低溫電漿處理在奈米金氧半電晶體元件製程上的應用	張子云; Chang Tzu Tun; 雷添福; Lei Tan Fu

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