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臺大學術典藏	2020-03-31T08:25:05Z	離子濺鍍法成長矽碳氮薄膜及其機械性質研究=Ion Beam Sputtered Growth and Mechanical Properties of SiCN Films	王春; 馬廣仁; 陳貴賢; 柯琪; 林麗瓊
臺大學術典藏	2020-03-31T08:24:41Z	離子濺鍍法成長矽碳氮薄膜及其機械性質研究=Ion Beam Sputtered Growth and Mechanical Properties of SiCN Films	王春; 馬廣仁; 陳貴賢; 柯琪; 林麗瓊

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