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機構	日期	題名	作者
國立交通大學	2015-05-12T02:59:33Z	用於金屬有機化學氣相沉積的真空壓力控制裝置	李安謙; 湯毓哲; 郭子瑋
國立交通大學	2014-12-12T02:35:57Z	有延遲時間的MOCVD製程反應腔體內部壓力控制系統的強健控制	湯毓哲; Tang, Yuh-Che; 李安謙; Lee, An-Chen

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