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機構	日期	題名	作者
國立交通大學	2014-12-12T02:12:10Z	砷化鎵、磷化銦及磷化銦鎵在三氯化硼、六氟化硫與氬氣中的活性離子蝕刻	葉嘉彬; Chia-Bin Yeh; 張國明; Kow-Ming Chang

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