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國立交通大學	2018-01-24T07:42:03Z	微影用光罩的二種新設計：相移干涉條與交錯式相移光罩與193奈米浸入式微影之光罩誤差放大因子之模擬分析	葉癸廷; 王念夏; Yeh, Kwei-Tin

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