臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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机构	日期	题名	作者
國立交通大學	2014-12-13T10:36:53Z	線性CMP製程與實驗機台研究---子計畫VII：CMP之化學反應機制研究(I)	蔡明蒔
國立交通大學	2014-12-12T03:08:44Z	ULSI嵌入式銅導線無砥粒化學機械平坦化技術	方政煜; Jeng-Yu Fang; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:47:34Z	應用石英微量天平元件檢測人類乳突病毒	徐繹翔; 林志生; 蔡明蒔
國立交通大學	2014-12-12T02:30:01Z	運用分子自我組裝在矽晶片上-微影圖形製作與化學感測器之應用研究	林福龍; lin fu-long; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:27:17Z	新嵌入式內層導線與低介電常數材料化學機械研磨之研究	張簡鵬崇; Peng Chung Jang Jian; 馮明憲; 蔡明蒔; M. S. Feng; M. S. Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:27:16Z	各類型奈米氧化鋯漿料之合成及其對銅與淺溝槽隔離化學機械研磨之效應	蘇旺申; Wang-Shen Su; 涂肇嘉; 蔡明蒔; George C. Tu; Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:24:48Z	ULSI嵌入式銅導線之無研磨粒子平坦化技術	方政煜; Jeng - Yu Fang; 馮明憲; 戴寶通; 蔡明蒔; Ming – Shiann Feng; Bau – Tong Dai; Ming – Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:24:46Z	選擇性接觸置換之無電鍍銅導線製程研究	李音頻; 89nctu0159018; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:24:45Z	銅導線化學機械研磨之研究—機制,膠體研磨粒子漿料及在嵌入式製程之應用	劉靜茵; Jing - In Liu; 涂肇嘉; 蔡明蒔; George C. Tu; Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:24:31Z	有機添加劑和改變稀釋比例之化學機械研磨	洪啟哲; Chi-Che Hong; 葉清發; 蔡明蒔
國立交通大學	2014-12-12T02:24:21Z	創新的腐蝕抑制劑於化學機械研磨之清洗對銅導線電性之研究	吳柏慶; 羅正忠; 蔡明蒔
國立交通大學	2014-12-12T02:22:34Z	超微細氧化鋁粉體之製備及研磨粉體對高分子介電層之化學機械研磨特性研究	侯全評; Chuan-Ping Hou; 涂肇嘉; 蔡明蒔; Dr. George C. Tu; Dr. Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:22:34Z	銅金屬嵌入式導線之化學機械研磨技術研究	陳辰靜; Cheng-Ging Chen; 馮明憲; 蔡明蒔; Dr. Ming-Shiann Fen; Dr. Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:22:33Z	銅金屬化學機械研磨漿料之研究	張芳宜; Chang Fangyi; 陳家富; 蔡明蒔; Dr. Chia-Fu Chen; Dr. Ming-Shin Tasi
國立交通大學	2014-12-12T02:20:09Z	研磨粉體對二氧化矽與鋁薄膜之化學機械研磨特性研究	羅先慶; Shian-Ching Lo; 涂肇嘉; 蔡明蒔; Dr. George C. Tu; Dr. Ming-Shih Tsai
國立交通大學	2014-12-12T02:20:08Z	低介電常數聚亞醯胺薄膜之化學機械研磨研究	戴雅麗; Ya-Li Tai; 馮明憲; 蔡明蒔; Dr. Ming-Shiann Feng; Dr. Ming-Shih Tsai

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