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國立交通大學	2014-12-12T02:27:16Z	各類型奈米氧化鋯漿料之合成及其對銅與淺溝槽隔離化學機械研磨之效應	蘇旺申; Wang-Shen Su; 涂肇嘉; 蔡明蒔; George C. Tu; Ming-Shih Tsai

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