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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-12T02:30:43Z 銅化學氣相沈積之基板電漿前處理效應及銅膜應力之研究 張君禮; Chun-Li Chang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:30:38Z 低溫形成複晶矽薄膜電晶體之研製與應用 范慶麟; Ching-Lin Fan; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:30:38Z 化學氣相沈積氮化鉭與矽化鎳之同擴散阻絕特性探討 伍佑國; You-Kuo Wu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:28:19Z 銅化學氣相沉積及其應用在深次微米銅栓之研究 林成利; Cheng-Li Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:28:04Z 矽化鎳接觸淺接面二極體之研製 林巧茹; Chiao-Ju Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:35Z 功率電晶體的溝槽式閘極氧化層之最佳化研究 劉沛潔; Pei-Chieh Liu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:33Z 以離子植入矽化鎳或鎳金屬技術製作矽化鎳接觸淺接面二極體之研究 鄭佳宏; Chia-Hong Cheng; 陳茂傑; Mio-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:33Z 銅化學氣相沈積基本特性及基板電漿前處理之研究 陳鵬森; Peng-Sen Chen; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:31Z 低介電常數介電層與銅金屬化製程整合之電性可靠度分析及銅金屬薄膜之抗氧化研究 吳振誠; Zhen-Cheng Wu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:21Z 化學氣相沉積低介電常數介電層與銅金屬整合之電性可靠度分析 熊志文; Zhi-Wen Shiung; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:21Z 銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用 林璧君; Pi-Jiun Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:16Z 銅化學氣相沈積基本特性及以Ni和NiSi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究 林鈺鈞; Yu-Chin Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:13Z CVD Cu 基本沈積特性及矽化鉭障礙層的熱穩定性之研究 古紹露; Shaw-Ru Ku; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:47Z 銻離子植入SiO2/Si 基板之擴散特性研究 黃國龍; Kuo-Lung Huang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:46Z Ta-based障礙層在Cu/PAE-2(low k)/Si 之熱穩定性研究 王超群; Chau-Chiung Wang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:46Z 銅/氮化鉭/參雜氟二氧化矽/矽結構之熱穩定性 王啟寧; Wang Chi-Ning; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:45Z 矽化鎳之製備及NiSi/p+n接面二極體的之研究 游正達; Gen-Da You; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:39Z 銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究 莊瑞璋; Jui-Chang Chuang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:38Z 化學氣相沉積鎢膜及矽化鎢膜在極大型積體電路之應用 王銘材; Wang Ming-Tsai; 陳茂傑; Chen Mao-Chieh
國立交通大學 2014-12-12T02:18:22Z 選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 葉文冠; 陳茂傑
國立交通大學 2014-12-12T02:17:37Z 鎢化矽及氮化鉭在銅金屬化系統之擴散障礙特性 林月秋; Lin, Yueh-Chiou; 陳茂傑; Chen Mao-Chieh
國立交通大學 2014-12-12T02:17:23Z 銅/障礙層/二氧化矽/矽結構中氮化效應對鉬及鉻障礙特性之表現 李東興; Lee, Tong-Hsin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:17:23Z 氮化鉬及氮化鉻在銅及鋁金屬化系統之擴散障礙特性 杜碩倫; Tu, Shuo-Lun; 陳茂傑; Mao-Chien Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:15:39Z 選擇性鎢沈積法製備之鎢接觸P+N接面二極體研究 陳昕輝; Chen, Shin-Huei; 陳茂傑; Chen Mao-Chieh
國立交通大學 2014-12-12T02:15:39Z 氮化鎢及氮化鉭對銅及鋁接觸金屬之擴散阻礙特性 吳東達; Wu, Tung-Ta; 陳茂傑; Chen Mao-Chien

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