| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:23:21Z |
銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用
|
林璧君; Pi-Jiun Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:23:16Z |
銅化學氣相沈積基本特性及以Ni和NiSi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究
|
林鈺鈞; Yu-Chin Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:23:13Z |
CVD Cu 基本沈積特性及矽化鉭障礙層的熱穩定性之研究
|
古紹露; Shaw-Ru Ku; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:47Z |
銻離子植入SiO2/Si 基板之擴散特性研究
|
黃國龍; Kuo-Lung Huang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:46Z |
Ta-based障礙層在Cu/PAE-2(low k)/Si 之熱穩定性研究
|
王超群; Chau-Chiung Wang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:46Z |
銅/氮化鉭/參雜氟二氧化矽/矽結構之熱穩定性
|
王啟寧; Wang Chi-Ning; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:45Z |
矽化鎳之製備及NiSi/p+n接面二極體的之研究
|
游正達; Gen-Da You; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:39Z |
銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究
|
莊瑞璋; Jui-Chang Chuang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:38Z |
化學氣相沉積鎢膜及矽化鎢膜在極大型積體電路之應用
|
王銘材; Wang Ming-Tsai; 陳茂傑; Chen Mao-Chieh |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:18:22Z |
選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用
|
葉文冠; 陳茂傑 |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:17:37Z |
鎢化矽及氮化鉭在銅金屬化系統之擴散障礙特性
|
林月秋; Lin, Yueh-Chiou; 陳茂傑; Chen Mao-Chieh |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:17:23Z |
銅/障礙層/二氧化矽/矽結構中氮化效應對鉬及鉻障礙特性之表現
|
李東興; Lee, Tong-Hsin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:17:23Z |
氮化鉬及氮化鉻在銅及鋁金屬化系統之擴散障礙特性
|
杜碩倫; Tu, Shuo-Lun; 陳茂傑; Mao-Chien Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:15:39Z |
選擇性鎢沈積法製備之鎢接觸P+N接面二極體研究
|
陳昕輝; Chen, Shin-Huei; 陳茂傑; Chen Mao-Chieh |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:15:39Z |
氮化鎢及氮化鉭對銅及鋁接觸金屬之擴散阻礙特性
|
吳東達; Wu, Tung-Ta; 陳茂傑; Chen Mao-Chien |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:15:36Z |
銅化學氣相沉積之基本性質與選擇性沉積之研究
|
黃守偉; Hwang, Sho-Wei; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:15:32Z |
擴散阻礙層對銅閘極金氧半結構之熱穩定性的德響
|
張肇強; Chang, Jaw-Chyang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:29Z |
銅化學氣相沉積技術開發與銅金屬化系統之可靠度研究
|
邱榮照; 陳茂傑 |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:13:49Z |
鎢閘極金氧半結構採新製程之特性研究
|
蕭宇成; Yeu-Cherng Shiau; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:13:48Z |
銅/二氧化矽系統可靠性之研究
|
王弘毅; Hong-I Wang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:13:46Z |
鎢在鋁/障礙層/p+n二極體的效應
|
詹光陽; Kwang-Yang Chan; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:12:48Z |
自動對準矽化鈷技術在極大型積體電路上的應用
|
陳炳勳; Chen, Bing Xun; 陳茂傑; Chen, Mao Jie |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:12:10Z |
以快速退火法研製矽化鉑接觸之淺接面
|
顏貽棟; Yi-Dong Yan; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:12:10Z |
銅的選擇性化學氣相沉積和鈦鎢合金障壁層在銅金屬結構之應用
|
莊焜吉; Kuen-Chi Juang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:11:24Z |
矽化鉑/複晶矽接觸電阻之研究
|
詹天皓; Zhan, Tian-Hao; 陳茂傑; Chen, Mao-Jie |
