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機構	日期	題名	作者
國立交通大學	2014-12-16T06:17:13Z	降低化學氣相沉積銅膜電阻率及提高銅膜Cu（111）／Cu（200）晶向比之電漿處理製程	陳茂傑; 林成利; 陳鵬森
國立交通大學	2014-12-16T06:13:25Z	降低化學氣相沉積銅膜電阻率及提高銅膜Cu（111）／Cu（200）晶向比之電漿處理製程	陳茂傑; 林成利; 陳鵬森
國立交通大學	2014-12-12T02:25:33Z	銅化學氣相沈積基本特性及基板電漿前處理之研究	陳鵬森; Peng-Sen Chen; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen

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