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教育部委託研究計畫 計畫執行:國立臺灣大學圖書館
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| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:48Z |
ULSI嵌入式銅導線之無研磨粒子平坦化技術
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方政煜; Jeng - Yu Fang; 馮明憲; 戴寶通; 蔡明蒔; Ming – Shiann Feng; Bau – Tong Dai; Ming – Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:48Z |
低介電常數材料氟化非晶系碳膜蝕刻特性研究
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吳育恆; Wu Yu-Hen; 吳耀銓; 謝嘉民; 馮明憲; Yew-Chung, sermon, Wu; Jia-Ming Shieh; Ming-Shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:46Z |
選擇性接觸置換之無電鍍銅導線製程研究
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李音頻; 89nctu0159018; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:46Z |
脈波電流電鍍對電鍍銅材料特性及填孔能力之研究
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曾聖嘉; Sheng-Chia Tseng; 陳家富; 馮明憲; 謝嘉民; Chia-Fu Chen; Ming-Shiann Feng; Jia-Min Shieh |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:22:34Z |
銅金屬嵌入式導線之化學機械研磨技術研究
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陳辰靜; Cheng-Ging Chen; 馮明憲; 蔡明蒔; Dr. Ming-Shiann Fen; Dr. Ming-Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:22:33Z |
次0.15 微米溝渠與引洞之電鍍銅技術
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張世杰; Shih-Chieh Chang; 馮明憲; 戴寶通; Ming-Shiann Feng; Bau-Tong Dai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:08Z |
低介電常數聚亞醯胺薄膜之化學機械研磨研究
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戴雅麗; Ya-Li Tai; 馮明憲; 蔡明蒔; Dr. Ming-Shiann Feng; Dr. Ming-Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:07Z |
低介電常數材料HSQ與銅導線製程整合之應用
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鄭懿芳; Yi-Fang Cheng; 馮明憲; 張鼎張; Ming-Shiann Feng; Ting-Chang Chang |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:19:22Z |
研磨粉體對二氧化矽薄膜之化學機械研磨特性研究
|
黃家雯; Huang, Jia-Wen; 馮明憲; 蔡明時; Feng, Ming-Xian; Cai-Ming-Shi |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:19:22Z |
多層導體連線結構中介層洞與介電層之研究
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莫亦先; Mor, I-Shien; 馮明憲; 張鼎張; Feng, Min-Shien; Chang, Ting-Chang |
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