| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:48Z |
ULSI嵌入式銅導線之無研磨粒子平坦化技術
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方政煜; Jeng - Yu Fang; 馮明憲; 戴寶通; 蔡明蒔; Ming – Shiann Feng; Bau – Tong Dai; Ming – Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:48Z |
低介電常數材料氟化非晶系碳膜蝕刻特性研究
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吳育恆; Wu Yu-Hen; 吳耀銓; 謝嘉民; 馮明憲; Yew-Chung, sermon, Wu; Jia-Ming Shieh; Ming-Shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:46Z |
選擇性接觸置換之無電鍍銅導線製程研究
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李音頻; 89nctu0159018; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:24:46Z |
脈波電流電鍍對電鍍銅材料特性及填孔能力之研究
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曾聖嘉; Sheng-Chia Tseng; 陳家富; 馮明憲; 謝嘉民; Chia-Fu Chen; Ming-Shiann Feng; Jia-Min Shieh |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:22:34Z |
銅金屬嵌入式導線之化學機械研磨技術研究
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陳辰靜; Cheng-Ging Chen; 馮明憲; 蔡明蒔; Dr. Ming-Shiann Fen; Dr. Ming-Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:22:33Z |
次0.15 微米溝渠與引洞之電鍍銅技術
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張世杰; Shih-Chieh Chang; 馮明憲; 戴寶通; Ming-Shiann Feng; Bau-Tong Dai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:08Z |
低介電常數聚亞醯胺薄膜之化學機械研磨研究
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戴雅麗; Ya-Li Tai; 馮明憲; 蔡明蒔; Dr. Ming-Shiann Feng; Dr. Ming-Shih Tsai |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:20:07Z |
低介電常數材料HSQ與銅導線製程整合之應用
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鄭懿芳; Yi-Fang Cheng; 馮明憲; 張鼎張; Ming-Shiann Feng; Ting-Chang Chang |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:19:22Z |
研磨粉體對二氧化矽薄膜之化學機械研磨特性研究
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黃家雯; Huang, Jia-Wen; 馮明憲; 蔡明時; Feng, Ming-Xian; Cai-Ming-Shi |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:19:22Z |
多層導體連線結構中介層洞與介電層之研究
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莫亦先; Mor, I-Shien; 馮明憲; 張鼎張; Feng, Min-Shien; Chang, Ting-Chang |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:18:21Z |
氮化鎵低壓氣相磊晶成長及特性分析
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郭政達; 馮明憲 |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:17:34Z |
低介電常數材料之研究及其在深次微米金屬半導體積體電路之製程整合之研究
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鄭義榮; Yi-Lung Cheng; 馮明憲; Ming-Shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:17:04Z |
氧氣電漿灰化技術在光阻減薄技術應用上的特性研究及均勻度控制
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郭俊伊; Kuo, Chun Yi; 馮明憲; Ming Shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:17:03Z |
矽與鍺在氮化鎵中的擴散行為及歐姆接點之應用
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卜起經; Bu, Chie Jin; 馮明憲; Ming Shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:17:00Z |
以穿透式電子顯微鏡研究氮化鎵薄膜之結構和缺陷
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林睫修; Lin, Chieh Hsiu; 馮明憲; Feng Ming-Shiann |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:16:16Z |
Chemical Mechanical Polishing of PECVD Dielectrics：Characterization and Processs Integration
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林啟發; Lin, Qi-Fa; 馮明憲; 戴寶通; Ping, Ming-Xian; Dai, Bao-Tong |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:15:41Z |
非晶矽與微晶矽薄膜電晶體製程及其特性之研究
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梁佳文; Liang,Chia Wen; 馮明憲; Ming-Shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:50Z |
在晶片階段,快速測試鋁矽銅金屬系統中電子遷移效應之方法研究
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李順益; Lee, Shun Yi; 馮明憲; Feng Ming-Shiane |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:49Z |
電漿輔助化學氣相沉積之介電質在化學機械研磨中特性與製程整合之研究
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林啟發; Lin, Chi-Fa; 馮明憲; Ming-Shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:49Z |
N型氮化鎵之歐姆接觸及其金屬-半導體場效電晶體之製作
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林其淵; Lin, Chie-Iuan; 馮明憲; Feng Ming-Shiann |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:48Z |
非晶矽薄膜電晶體之銅閘極製程與氧化矽閘極介電層之特性研究
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何家齊; Ho, Chia-chi; 馮明憲; Ming-shiann Feng |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:13Z |
微晶矽薄膜電晶體之研製
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江文銓; Jiang, Wen Quan; 馮明憲; Feng, Ming Xian |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:12Z |
複晶矽電阻之研究與氫氣對混合模式製程之影響
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劉建志; Liu, Jian Zhi; 馮明憲; 許順良; Feng, Ming Xian; Xu, Shun Liang |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:12Z |
n型氮化鎵之金屬接觸及其金屬:半導體場效應電晶體之研製
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郭瑞俊; Guo, Rui Jun; 馮明憲; Feng, Ming Xian |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:14:12Z |
電漿輔助化學沈積法的氮化矽膜之表面型態對陽極氧化鋁/氮化矽雙層介電層非晶矽薄膜電晶體電性之影響
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李秋德; Li, Qiu De; 馮明憲; Feng, Ming Xian |
