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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-13T10:36:53Z 電子束微影之鄰近效應修正 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:36:17Z 193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:34:53Z 193奈米微影解像度增進技術---高透射率嵌附層之研製、應用探討與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:33:37Z 高透射率嵌附層、唯相移層、極短紫外光反射式圖罩吸收層與緩衝層之材料、電漿蝕刻與性質探討(I) 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:32:33Z 193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:32:12Z 193奈米微影高透射率嵌附層應用於透射率控制圖罩之模擬、材料、蝕刻與性質探討 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:30:11Z 193奈米高透射率嵌附層之研製與應用於橫電偏振光、偏軸發光、減光型相移圖罩組合之濕浸式微影成像特性模擬探討 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:29:32Z 193奈米高透射率嵌附層之研製與作為濕浸式微影光學鄰近效應修正用散條之性質探討 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-12T02:57:24Z 以全條減光散條及陣列減光散條增進焦深改善禁止間距之模擬 呂廷軒; 龍文安
國立交通大學 2014-12-12T02:47:02Z 以散條增進焦深與改善禁止間距之模擬及全條減光散條之製備 胡繼仁; 龍文安

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