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教育部委託研究計畫 計畫執行:國立臺灣大學圖書館
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| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:29:01Z |
鉬矽氧嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
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陳玉蓉; Chen Yu-rung; 龍文安; Loong Wen-an |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:29:01Z |
氮電漿處理低介材HSQ應用於銅金屬製程之薄膜特性研究
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陳建帆; 龍文安; Loong Wen-an |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:26:11Z |
193奈米微影用正規與高透射率嵌附層材料之探討及減光型相移圖罩應用之模擬
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林政旻; Cheng-ming Lin; 龍文安; Dr. Loong Wen-an |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:21:34Z |
鉻矽氮類嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
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呂奎亮; Leu Kwei-liang; 龍文安; Loong Wen-an |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:19:40Z |
鋁氧氮嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
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蘇炳聖; Su, Bing-Sheng; 莊亨立; 龍文安; Henry Tan; Loong, Wen-An |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:19:40Z |
鉻鋁氧類及氮化矽類嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
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張克文; Chang, Keh-Wen; 龍文安; Loong, Wen-An |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:19:39Z |
應用光學鄰近效應修正與實驗設計法於製程寬容度最適化
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曾秀平; Zeng, Xiu-Ping; 龍文安; Long, Wen-An |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:18:13Z |
深紫外光化學放大阻劑性質探討
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蘇丁泰; Sue, Din-Tai; 龍文安; Loong, Wen-An |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:18:12Z |
鈦矽氧類嵌附減光式相移圖罩之研製與模擬
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陳志葦; Chen, Chih-Wei; 龍文安; Loong, Wen-An |
| 國立交通大學 |
2014-12-12T02:18:12Z |
電子束微影鄰近效應參數測定與鄰近效應修正之研究
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吳玫真; Wu, Mei-Jen; 龍文安; Loong, Wen-An |
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