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機構	日期	題名	作者
國立交通大學	2014-12-08T15:39:17Z	The removal of airborne molecular contamination in cleanroom using PTFE and chemical filters	Yeh, CF; Hsiao, CW; Lin, SJ; Hsieh, CM; Kusumi, T; Aomi, H; Kaneko, H; Dai, BT; Tsai, MS
國立交通大學	2014-12-08T15:26:34Z	Impact of airborne molecular contamination to nano-device performance	Yeh, CF; Hsiao, CW; Lin, SJ; Xie, ZM; Kusumi, T; Aomi, H; Kaneko, H; Da, BT; Tsai, MS

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