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机构 日期 题名 作者
國立成功大學 2005-01 Fabrication and characterization of amorphous Si films by PECVD for MEMS Chung, Chen-Kuei; Tsai, Ming-Qun; Tsai, Po-Hao; Lee, Chiapyng
國立成功大學 2004-11 Material characterization and nanohardness measurement of nanostructured Ta-Si-N film Chung, Chen-Kuei; Su, P. J.
國立成功大學 2004-10 Combination of thick resist and electroforming technologies for monolithic inkjet application Chung, Chen-Kuei; Lin, C. J.; Chen, C. C.; Fang, Y. J.; Tsai, M. Q.
國立成功大學 2004-10 Selection of mold materials for electroforming of monolithic two-layer microstructure Chung, Chen-Kuei; Lin, C. J.; Wu, L. H.; Fang, Y. J.; Hong, Y. Z.
國立成功大學 2004-04 Geometrical pattern effect on silicon deep etching by an inductively coupled plasma system Chung, Chen-Kuei
國立成功大學 2004-03 Modelling and fabrication of step height control of a multilevel Si(100) structure in KOH solution Chung, Chen-Kuei

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