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臺大學術典藏 2021-02-04T02:48:59Z Influence of sputtering power on the electrical properties of In-Sn-Zn oxide thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering Li, Z.-Y.; Chen, S.-C.; Huo, Q.-H.; Liao, M.-H.; Dai, M.-J.; Lin, S.-S.; Yang, T.-L.; Sun, H.; Li, Z.-Y.; Chen, S.-C.; Huo, Q.-H.; Liao, M.-H.; Dai, M.-J.; Lin, S.-S.; Yang, T.-L.; Sun, H.; MING-HAN LIAO
臺大學術典藏 2021-02-04T02:48:59Z Influence of sputtering power on the electrical properties of In-Sn-Zn oxide thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering Li, Z.-Y.; Chen, S.-C.; Huo, Q.-H.; Liao, M.-H.; Dai, M.-J.; Lin, S.-S.; Yang, T.-L.; Sun, H.; Li, Z.-Y.; Chen, S.-C.; Huo, Q.-H.; Liao, M.-H.; Dai, M.-J.; Lin, S.-S.; Yang, T.-L.; Sun, H.; MING-HAN LIAO

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