臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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机构	日期	题名	作者
國立中山大學	2002	Molecular dynamics simulation of sputter trench-filling morphology in Damascene process	Shin-Pon Ju; Cheng-I Weng; Jee-Gong Chang; Chi-Chuan Hwang
國立中山大學	2002	Molecular dynamics simulation of copper reflow in damascene process	Ming-Horng Su; Chi-Chuan Hwang; Jee-Gong Chang; Shin-Pon Ju
國立中山大學	2002	Damascene Process Simulation Using Molecular Dynamics Parallel Computing Technique: Quantitative Comparison to a Small Size Simulation Model	Shin-Pon Ju;Cheng-I Weng;Jee-Gong Chang;Chi-Chuan Hwang;Yng-Ching Wu;Hong-Chang Lin
國立中山大學	2001-08	Molecular Dynamics Simulation of Sputter Trench-filling Morphology in Damascene Process	Chi-Chuan Hwang;Shin-Pon Ju;Jee-Gong Chang;Cheng-I Weng;Jian-Ming Lu
國立中山大學	2001	Topographic study of sputter-deposited film with different process parameters	Shin-Pon Ju; Cheng-I Weng; Jee-Gong Chang; Chi-Chuan Hwang
國立中山大學	2001	Thin Film Grown on GMR Corrugated Substrate by Oblique Deposition Using Molecular Dynamics Simulation	Cheng-I Weng;Chia-Lin Chang;Jee-Gong Chang;Shin-Pon Ju;Chi-Chuan Hwang;Jian-Ming Lu
國立中山大學	2000	The morphologic study of deposited film with different process parameters in sputtering process	Shin-Pon Ju;Cheng-I Weng;Jee-Gong Chang;Chi-Chuan Hwang

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