臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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機構	日期	題名	作者
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Study of etching bias modeling and correction strategies for compensation of patterning process effects	Philip C. W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Lawrence S. Melvin III; Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Study of etching bias modeling and correction strategies for compensation of patterning process effects	Philip C. W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Lawrence S. Melvin III; Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T09:25:00Z	Study of etching bias modeling and correction strategies for patterning processes	Philip C.W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Lawrence S. Melvin III; Philip C.W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T09:25:00Z	Study of etching bias modeling and correction strategies for patterning processes	Philip C.W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Lawrence S. Melvin III; Philip C.W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Non-delta-chrome optical proximity correction methodology for process models with three-dimensional mask effects	Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:18:22Z	A non-delta-chrome OPC methodology for nonlinear process models	Philip C. W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Lawrence S. Melvin III; Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:18:22Z	A non-delta-chrome OPC methodology for nonlinear process models	Philip C. W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Lawrence S. Melvin III; Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:18:21Z	A non-delta-chrome OPC methodology for process models with three-dimensional mask effects	Philip C. W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Chih-Hsien Tang;Lawrence S. Melvin III; Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Chih-Hsien Tang; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:18:21Z	A non-delta-chrome OPC methodology for process models with three-dimensional mask effects	Philip C. W. Ng;Kuen-Yu Tsai;Chih-Hsien Tang;Lawrence S. Melvin III; Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Chih-Hsien Tang; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI

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