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機構 日期 題名 作者
國立成功大學 2011-04 Selection Schemes of Dual Virtual-Metrology Outputs for Enhancing Prediction Accuracy Wu, Wei-Ming; Cheng, Fan-Tien; Lin, Tung-Ho; Zeng, Deng-Lin; Chen, Jyun-Fang
國立成功大學 2009-02 NN-Based Key-Variable Selection Method for Enhancing Virtual Metrology Accuracy Lin, Tung-Ho; Cheng, Fan-Tien; Wu, Wei-Ming; Kao, Chi-An; Ye, Aeo-Juo; Chang, Fu-Chien
國立成功大學 2008-08 Accuracy and real-time considerations for implementing various virtual metrology algorithms Su, Yu-Chuan; Lin, Tung-Ho; Cheng, Fan-Tien; Wu, Wei-Ming
國立成功大學 2008-06-13 類神經虛擬量測之推估精度精進與即時性運用 林東河; Lin, Tung-Ho
國立成功大學 2008-06-13 類神經虛擬量測之推估精度精進與即時性運用 林東河; Lin, Tung-Ho
國立成功大學 2007-06 A novel virtual metrology scheme for predicting CVD thickness in semiconductor manufacturing Hung, Min-Hsiung; Lin, Tung-Ho; Cheng, Fan-Tien; Lin, Rung-Chuan

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