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机构	日期	题名	作者
國立交通大學	2014-12-08T15:02:59Z	TiNx as a new embedded material for attenuated phase shift mask	Loong, WA; Chen, TC; Tseng, JC
國立交通大學	2014-12-08T15:02:03Z	Study on optimization of annular off-axis illumination using Taguchi method for 0.35 mu m dense line/space	Loong, WA; Tseng, JC; Chen, TC; Lung, CA

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