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机构 日期 题名 作者
國立交通大學 2014-12-13T10:34:53Z 193奈米微影解像度增進技術---高透射率嵌附層之研製、應用探討與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:33:37Z 高透射率嵌附層、唯相移層、極短紫外光反射式圖罩吸收層與緩衝層之材料、電漿蝕刻與性質探討(I) 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:32:33Z 193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:32:12Z 193奈米微影高透射率嵌附層應用於透射率控制圖罩之模擬、材料、蝕刻與性質探討 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:30:11Z 193奈米高透射率嵌附層之研製與應用於橫電偏振光、偏軸發光、減光型相移圖罩組合之濕浸式微影成像特性模擬探討 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:29:32Z 193奈米高透射率嵌附層之研製與作為濕浸式微影光學鄰近效應修正用散條之性質探討 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-12T02:31:26Z 多孔性低介材SiOC研究與探討 陳尹川; Chen Yin-chuan; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-12T02:31:26Z 高密度電漿化學氣相沉積製備低介材SiOC:H 之薄膜特性研究 蔡元浩; Tsai Yuan-hau; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-12T02:29:01Z 以實驗設計法探討高透射率減光型相移圖罩最適化 林賢雲; Lin Hsien-yun; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-12T02:29:01Z 鉬矽氧嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬 陳玉蓉; Chen Yu-rung; 龍文安; Loong Wen-an

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