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國立交通大學 2014-12-12T02:18:12Z 鈦矽氧類嵌附減光式相移圖罩之研製與模擬 陳志葦; Chen, Chih-Wei; 龍文安; Loong, Wen-An
國立交通大學 2014-12-12T02:18:12Z 電子束微影鄰近效應參數測定與鄰近效應修正之研究 吳玫真; Wu, Mei-Jen; 龍文安; Loong, Wen-An
國立交通大學 2014-12-12T02:16:11Z 應用光學近距效應修正之減光式相移光罩搭配環形偏軸發光與傳統發光最適化模擬與研究 林仁章; Lin, Ren-Jang; 龍文安; Loong, Wen-An
國立交通大學 2014-12-12T02:12:39Z 緣邊式相移光罩之模擬與研製 葉青樺; Yeh Chin-hwa; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-12T02:10:53Z 次微米鉻膜及相轉移光罩之研究 郭貴琦; Guo, Guey Chi; 龍文安; Loong, Wen An
國立交通大學 2014-12-12T02:10:52Z 0.35 微米新型相轉移光罩之研究 周岳霖; Chou,Yueh Lin; 龍文安; Loong,Wen An
國立交通大學 2014-12-12T02:07:56Z 減光型相移圖罩材質研究與二孔偏軸發光成像模擬 林志鴻; Lin Chih-hung; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-12T01:30:46Z 模擬探討以減光-緣邊-外架型相移圖罩製備45奈米接觸孔與以散條提升28奈米線焦深 林建維; Lin, Chien-Wei; 龍文安; Loong, Wen-An
國立交通大學 2014-12-12T01:17:21Z 模擬探討以散條提升32奈米線幅禁止間距焦深 黃志全; Huang Chih-chuan; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-08T15:16:09Z Simulation for optimization of mask error enhancement factor by design of experiments in both dry and immersion ArF lithography Yeh, Kwei-Tin; Lin, Chih-Hung; Hu, Ji-Ren; Loong, Wen-An
國立交通大學 2014-12-08T15:15:09Z Simulation of applications of high-transmittance embedded layer in transmittance control mask and optimization of attenuated phase-shifting mask by design of experiment Yeh, Kwei-tin; Lin, Hsien-yun; Loong, Wen-an

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