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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-13T10:38:08Z 電子束微影近距效應校正參數求測 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:37:46Z 嵌附式減光式相移光罩之模擬與製備 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:36:53Z 嵌附式減光型相移圖罩之模擬與製備 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:36:53Z 電子束微影之鄰近效應修正 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:36:17Z 193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:34:53Z 193奈米微影解像度增進技術---高透射率嵌附層之研製、應用探討與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:33:37Z 高透射率嵌附層、唯相移層、極短紫外光反射式圖罩吸收層與緩衝層之材料、電漿蝕刻與性質探討(I) 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:32:33Z 193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:32:12Z 193奈米微影高透射率嵌附層應用於透射率控制圖罩之模擬、材料、蝕刻與性質探討 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學 2014-12-13T10:30:11Z 193奈米高透射率嵌附層之研製與應用於橫電偏振光、偏軸發光、減光型相移圖罩組合之濕浸式微影成像特性模擬探討 龍文安; Loong Wen-an

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