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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-12T02:25:35Z 功率電晶體的溝槽式閘極氧化層之最佳化研究 劉沛潔; Pei-Chieh Liu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:33Z 銅化學氣相沈積基本特性及基板電漿前處理之研究 陳鵬森; Peng-Sen Chen; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:31Z 低介電常數介電層與銅金屬化製程整合之電性可靠度分析及銅金屬薄膜之抗氧化研究 吳振誠; Zhen-Cheng Wu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:21Z 化學氣相沉積低介電常數介電層與銅金屬整合之電性可靠度分析 熊志文; Zhi-Wen Shiung; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:21Z 銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用 林璧君; Pi-Jiun Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:16Z 銅化學氣相沈積基本特性及以Ni和NiSi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究 林鈺鈞; Yu-Chin Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:13Z CVD Cu 基本沈積特性及矽化鉭障礙層的熱穩定性之研究 古紹露; Shaw-Ru Ku; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:47Z 銻離子植入SiO2/Si 基板之擴散特性研究 黃國龍; Kuo-Lung Huang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:46Z Ta-based障礙層在Cu/PAE-2(low k)/Si 之熱穩定性研究 王超群; Chau-Chiung Wang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:46Z 銅/氮化鉭/參雜氟二氧化矽/矽結構之熱穩定性 王啟寧; Wang Chi-Ning; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen

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