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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-12T02:30:43Z 銅化學氣相沈積之基板電漿前處理效應及銅膜應力之研究 張君禮; Chun-Li Chang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:30:38Z 低溫形成複晶矽薄膜電晶體之研製與應用 范慶麟; Ching-Lin Fan; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:30:38Z 化學氣相沈積氮化鉭與矽化鎳之同擴散阻絕特性探討 伍佑國; You-Kuo Wu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:28:19Z 銅化學氣相沉積及其應用在深次微米銅栓之研究 林成利; Cheng-Li Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:28:04Z 矽化鎳接觸淺接面二極體之研製 林巧茹; Chiao-Ju Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:35Z 功率電晶體的溝槽式閘極氧化層之最佳化研究 劉沛潔; Pei-Chieh Liu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:33Z 銅化學氣相沈積基本特性及基板電漿前處理之研究 陳鵬森; Peng-Sen Chen; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:25:31Z 低介電常數介電層與銅金屬化製程整合之電性可靠度分析及銅金屬薄膜之抗氧化研究 吳振誠; Zhen-Cheng Wu; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:21Z 化學氣相沉積低介電常數介電層與銅金屬整合之電性可靠度分析 熊志文; Zhi-Wen Shiung; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:21Z 銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體電路上的應用 林璧君; Pi-Jiun Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:16Z 銅化學氣相沈積基本特性及以Ni和NiSi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究 林鈺鈞; Yu-Chin Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:23:13Z CVD Cu 基本沈積特性及矽化鉭障礙層的熱穩定性之研究 古紹露; Shaw-Ru Ku; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:47Z 銻離子植入SiO2/Si 基板之擴散特性研究 黃國龍; Kuo-Lung Huang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:46Z Ta-based障礙層在Cu/PAE-2(low k)/Si 之熱穩定性研究 王超群; Chau-Chiung Wang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:46Z 銅/氮化鉭/參雜氟二氧化矽/矽結構之熱穩定性 王啟寧; Wang Chi-Ning; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:45Z 矽化鎳之製備及NiSi/p+n接面二極體的之研究 游正達; Gen-Da You; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:20:39Z 銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究 莊瑞璋; Jui-Chang Chuang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:17:23Z 銅/障礙層/二氧化矽/矽結構中氮化效應對鉬及鉻障礙特性之表現 李東興; Lee, Tong-Hsin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:15:36Z 銅化學氣相沉積之基本性質與選擇性沉積之研究 黃守偉; Hwang, Sho-Wei; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:15:32Z 擴散阻礙層對銅閘極金氧半結構之熱穩定性的德響 張肇強; Chang, Jaw-Chyang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:13:49Z 鎢閘極金氧半結構採新製程之特性研究 蕭宇成; Yeu-Cherng Shiau; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:13:48Z 銅/二氧化矽系統可靠性之研究 王弘毅; Hong-I Wang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:13:46Z 鎢在鋁/障礙層/p+n二極體的效應 詹光陽; Kwang-Yang Chan; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:12:10Z 以快速退火法研製矽化鉑接觸之淺接面 顏貽棟; Yi-Dong Yan; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學 2014-12-12T02:12:10Z 銅的選擇性化學氣相沉積和鈦鎢合金障壁層在銅金屬結構之應用 莊焜吉; Kuen-Chi Juang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen

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