臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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Institution	Date	Title	Author
國立交通大學	2014-12-12T02:23:16Z	銅化學氣相沈積基本特性及以Ni和NiSi為銅擴散障礙層之熱穩定性研究	林鈺鈞; Yu-Chin Lin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:23:13Z	CVD Cu 基本沈積特性及矽化鉭障礙層的熱穩定性之研究	古紹露; Shaw-Ru Ku; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:20:47Z	銻離子植入SiO2/Si 基板之擴散特性研究	黃國龍; Kuo-Lung Huang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:20:46Z	Ta-based障礙層在Cu/PAE-2(low k)/Si 之熱穩定性研究	王超群; Chau-Chiung Wang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:20:46Z	銅/氮化鉭/參雜氟二氧化矽/矽結構之熱穩定性	王啟寧; Wang Chi-Ning; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:20:45Z	矽化鎳之製備及NiSi/p+n接面二極體的之研究	游正達; Gen-Da You; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:20:39Z	銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究	莊瑞璋; Jui-Chang Chuang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:17:23Z	銅/障礙層/二氧化矽/矽結構中氮化效應對鉬及鉻障礙特性之表現	李東興; Lee, Tong-Hsin; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:15:36Z	銅化學氣相沉積之基本性質與選擇性沉積之研究	黃守偉; Hwang, Sho-Wei; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen
國立交通大學	2014-12-12T02:15:32Z	擴散阻礙層對銅閘極金氧半結構之熱穩定性的德響	張肇強; Chang, Jaw-Chyang; 陳茂傑; Mao-Chieh Chen

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