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國立交通大學 2014-12-12T02:17:02Z 低介電常數旋塗式玻璃薄膜之化學機械拋光特性研究 張仕宗; Chang, Shih-Tzung; 馮明憲, 戴寶通; Ming-Shiann Feng, Bau-Tong Dai

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