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机构	日期	题名	作者
國立交通大學	2014-12-08T15:39:18Z	Influence of N2O plasma treatment on microstructure and thermal stability of WNx barriers for Cu interconnection	Tsai, KC; Wu, WF; Chen, JC; Pan, TJ; Chao, CG
國立交通大學	2014-12-08T15:37:09Z	Numerical and experimental analysis of Cu diffusion in plasma-treated tungsten barrier	Tsai, KC; Wu, WF; Chen, JC; Pan, TJ; Chao, CG

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