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機構 日期 題名 作者
國立臺灣大學 2010 Manufacturability analysis of a MEMS-based electron-optical system design for direct-write lithography Chen, Sheng-Yung; Chen, Shin-Chuan; Chen, Hsing-Hong; Pei, Ting-Han; Tsai, Kuen-Yu
國立臺灣大學 2010 Fresnel zone plate manufacturability analysis for direct-write lithography by simulating focusing and patterning performance versus fabrication errors Tsai, Kuen-Yu; Chen, Sheng-Yung; Pei, Ting-Han; Li, Jia-Han

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