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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-08T15:20:50Z Thermal Stability and Performance of NbSiTaTiZr High-Entropy Alloy Barrier for Copper Metallization Tsai, Ming-Hung; Wang, Chun-Wen; Tsai, Che-Wei; Shen, Wan-Jui; Yeh, Jien-Wei; Gan, Jon-Yiew; Wu, Wen-Wei

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