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臺大學術典藏 2018-09-10T14:57:37Z Fabrication of silicon-core waveguide on bulk Si substrate with mold-assisted method and KrF excimer laser reformation Chen, S.;Hung, S.-C.;Lin, S.-J.;Shueh, H.-Y.;Yang, S.-T.;Chang, S.-K.;Lin, Y.-Z.;Chen, K.-Y.;Lin, C.-F.; Chen, S.; Hung, S.-C.; Lin, S.-J.; Shueh, H.-Y.; Yang, S.-T.; Chang, S.-K.; Lin, Y.-Z.; Chen, K.-Y.; Lin, C.-F.; CHING-FUH LIN
臺大學術典藏 2018-09-10T14:57:37Z Fabrication of silicon-core waveguide on bulk Si substrate with mold-assisted method and KrF excimer laser reformation Chen, S.;Hung, S.-C.;Lin, S.-J.;Shueh, H.-Y.;Yang, S.-T.;Chang, S.-K.;Lin, Y.-Z.;Chen, K.-Y.;Lin, C.-F.; Chen, S.; Hung, S.-C.; Lin, S.-J.; Shueh, H.-Y.; Yang, S.-T.; Chang, S.-K.; Lin, Y.-Z.; Chen, K.-Y.; Lin, C.-F.; CHING-FUH LIN

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