臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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机构	日期	题名	作者
中原大學	2000-01	Dry Etching of Platinum Films with TiN Masks in an Ar/O2 Helicon Wave Plasma	Ming-Chung Chiang;Fu-Ming Pan;Han-Chung Cheng;Jeng-Shu Liu;Shih-Hsiung Chan;Ta-Chin Wei
中原大學	2000	Global Model of Plasma Chemistry in a High Density Argon/Hydrogen Discharge	Ta-Chin Wei;Chih-Chao Yang;Wen-Cheng Cheng
中原大學	2000	Plasma Treatment and Dry Etch Characteristics of Organic Low-k Dielectrics	Ta-Chin Wei;Chi-Hung Liu;Jia-Ming Shieh;Shich-Chang Suen;Bau-Tong Dai
中原大學	1999	Modelling the Discharge Region of A Microwave Generated Hydrogen Plasma	Chun-Ku Chen;Ta-Chin Wei;Lance R Collins;Jonathan Phillips

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