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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-12T02:28:03Z 二矽烷複晶矽薄膜及四氟化碳電漿預處理技術在製備薄氧化層之研究 李介文; Jam Wem Lee; 李崇仁; 雷添福; Chung_Len Lee; Tan Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:25:33Z 延遲烘烤效應與新開發聚焦圖像在深紫外光微影技術之應用 古進譽; Chin-Yu Ku; 雷添福; Tan Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:25:33Z 垂直式結構複晶矽氧化層之研究 張延安; Yen-An Chang; 雷添福; Tan-Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:25:33Z 薄(≦6.0nm)氮氧化矽層之製備藉由N2O電漿回火處理 郭良泰; Liang-Tai Kuo; 雷添福; Tan-Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:25:24Z 研發特殊清洗溶液及高介電常數閘極介電層在超大型積體電路上之應用 潘同明; Tung-Ming Pan; 雷添福; Tan-Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:23:51Z 複晶矽薄膜電晶體之製程與可靠度之研究 桑任逸; Jen-Yi Sang; 雷添福; Tan-Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:23:47Z 高介電常數氧化鐠閘極介電層與新穎結構於複晶矽薄膜電晶體之研究 張家文; Chia-Wen Chang; 雷添福; Tan-Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:23:20Z 氫氟酸氣態清洗及氮摻雜於閘極氧化層與複晶矽氧化層之應用 陳建亨; Jiann Heng Chen; 雷添福; 趙天生; Tan Fu Lei; Tien Sheng Chao
國立交通大學 2014-12-12T02:23:13Z 應用於ULSI成長氧化層前及化學機械研磨後的新溶液清洗 邱子寰; Tzu-Huan Chiu; 雷添福; Tan Fu Lei
國立交通大學 2014-12-12T02:23:13Z 疊形複晶矽結構在閘極氧化層與金屬矽化物之可靠度研究 林信翔; Shen-Xiang, Lin; 雷添福; Tan-Fu, Lei

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