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國立交通大學	2014-12-12T03:02:18Z	緩衝層與經氫氣回火矽晶圓對具氮化矽覆蓋層之形變N型金氧半場效電晶體之元件特性及可靠度之影響	蔡子儀; Tzu-I Tsai; 黃調元; 林鴻志; Tiao-Yuan Huan; Horng-Chih Lin

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