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臺大學術典藏	2022-01-03T08:01:16Z	Solving the electrostatic field in large-scale electron-beam direct-write lithography system	Yen‐Min Lee; Jia‐Han Li; Kuen‐Yu Tsai; Tony Wen‐Hann Sheu; Jia‐Yush Yen; JIA-HAN LI

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