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机构 日期 题名 作者
國立臺灣大學 2002-05 DQIT: /spl mu/-synthesis without D-scale fitting 蔡坤諭; Hindi, Haitham A.; Tsai, Kuen-Yu; Hindi, Haitham A.
國立臺灣大學 1999-11 Servo system design of a high-resolution piezo-driven fine stage for step-and-repeat microlithography systems 蔡坤諭; Yen, Jia-Yush; Tsai, Kuen-Yu; Yen, Jia-Yush

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