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机构	日期	题名	作者
臺大學術典藏	2021-11-25T04:06:44Z	Extraction of Frequency Dependent Macromodels for MEMS Squeeze-film Damping Effects	Y.-J. Yang; C.-M. Chien; M. Kamon; V. L. Rabinovich; J. R. Gilbert; YAO-JOE YANG

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