國立中山大學 |
2003 |
Self-organized nanomolecular films on low-dielectric constant porous methyl silsesquioxane at room temperature
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J.C. Hu;C.W. Wu;W.C. Gau;L.J. Chen;T.C. Chang |
國立中山大學 |
2003 |
Diffusion barrier properties of metallorganic chemical vapor deposited NbNxOyCz films for Cu metallization
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C.W. Wu;W.C. Gau;J.C. Hu;T.C. Chang;L.J. Chen |
中原大學 |
1999 |
以電鍍方式沉積銅金屬導線應用在超大型積體電路之研究
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高武群; W.C Gau |
中原大學 |
1999 |
Copper Metallization for Future ULSI Technology
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C.-L. Cheng;W.-C. Gau;C.-T. Chang;Y.-S. Lin;J.-C. Hu;L.-J.Chen;C.-Y. Chang; |
中原大學 |
1999 |
The Study of Cu Electroplating Mechanism in the ULSI Metallization
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W.-C. Gau;S.-J. Chang;M.-S. Feng;J.-C. Hu;T.-C. Chang;C.-L.Cheng; |