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國立交通大學 2020-07-01T05:22:05Z Correlation between ferroelectricity and nitrogen incorporation of undoped hafnium dioxide thin films Luo, Jun-Dao; Yeh, Yun-Tien; Lai, Yu-Ying; Wu, Chia-Feng; Chung, Hao-Tung; Li, Yi-Shao; Chuang, Kai-Chi; Li, Wei-Shuo; Chen, Pin-Guang; Lee, Min-Hung; Cheng, Huang-Chung
國立交通大學 2019-08-02T02:15:24Z Improvement of ferroelectric properties in undoped hafnium oxide thin films using thermal atomic layer deposition Luo, Jun-Dao; Zhang, He-Xin; Wang, Zheng-Ying; Gu, Siang-Sheng; Yeh, Yun-Tien; Chung, Hao-Tung; Chuang, Kai-Chi; Liao, Chan-Yu; Li, Wei-Shuo; Li, Yi-Shao; Li, Kai-Shin; Lee, Min-Hung; Cheng, Huang-Chung

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