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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-12T02:23:17Z 溫差液相沈積氟氧化矽技術之研發與其在銅/低介電常數材料嵌刻導線製程上之應用 李岳川; Yueh-Chuan Lee; 葉清發; Ching-Fa Yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:23:15Z 塑膠基板上薄膜應力對主動式元件特性之影響分析 許至全; Chih-Chuan Hsu; 葉清發
國立交通大學 2014-12-12T02:23:13Z 氨氣電漿處理後溫差液相沈積含氟氧化膜在銅製程上之應用與可靠性分析 陳啟明; Chi-Ming Chen; 葉清發; Ching-Fa Yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:23:12Z 銅/低介電常數材料導線嵌刻製程整合關鍵技術之研究 林建興; Chein-Hsin Lin; 葉清發; Ching Fa Yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:20:52Z 選擇性液相沈積技術在VLSI製程之應用與研發 劉建宏; Chien-Hung Liu; 葉清發; Ching-Fa Yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:20:45Z 電漿處理後溫差液相沈積含氟矽氧化膜特性之研究及其在銅製程上之應用 吳國豪; Kwo-Hau Wu; 葉清發; Ching-Fa Yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:20:45Z 金屬致再結晶低溫複晶矽薄膜電晶體之研製 陳政忠; Cheng-Chung Chen; 葉清發; Chin-Fa yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:20:45Z 塑膠基板上半導體元件之試作 施鴻民; Shih Hung-Ming; 葉清發; Prof. Ching-Fa Yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:20:45Z 極大型積體電路銅製程關鍵技術之研究-銅/溫差液相沈積含氟矽氧化膜/低介電常數MSQ之製程整合 蘇育清; Yuh-Ching Su; 葉清發; Ching-Fa Yeh
國立交通大學 2014-12-12T02:20:44Z 選擇性液相沈積氧化矽絕緣膜在淺溝隔離技術上之應用開發 吳俊杰; Jiwnn-Jye Wu; 葉清發; Ching-Fa Yeh

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