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中原大學 2002-11 以Y/sub 2/O/sub 3/高介電係數薄膜為矽閘極介電層之研究 陳毅驊;林鐵豫;陳逸書;蔡人文;高慧玲 ;Chen, Y. H.;Lin, T. Y.;Chen, Yi-Shu;Kao, Hui-Ling

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