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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-12T02:30:00Z 襯層在深次微米金氧半導體積體電路製造的應用與影響 藍錦坤; Jin Kun Lan; 朝春光; Chuen Guang Chao
國立暨南國際大學 2004 Mechanism of high density plasma chemical vapor deposition phosphosilicate glass process without in-situ plasma chamber clean 藍錦坤?; Lan, JK

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