臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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Institution	Date	Title	Author
國立臺灣科技大學	2019	再繞射式光柵干涉儀	謝宏麟
國立臺灣科技大學	2019	再繞射式光柵干涉儀	謝宏麟
國立臺灣科技大學	2018	再繞射式光柵干涉儀	謝宏麟
國立臺灣科技大學	2017	全域式晶圓翹曲量測技術之研發	謝宏麟
國立臺灣科技大學	2016	全域式晶圓翹曲量測技術之研發	謝宏麟
國立臺灣科技大學	2015	高穩定度共光程外差折射率量測技術之開發	謝宏麟
國立臺灣科技大學	2014	六維度雷射光學尺式定位系統之研發 (Ⅱ)	謝宏麟
國立臺灣科技大學	2013	大面積快速高解析度無光罩微影系統研發	鄭正元;謝宏麟
國立臺灣科技大學	2013	大面積快速高解析度無光罩微影系統研發	鄭正元;謝宏麟
國立臺灣科技大學	2013	六維度雷射光學尺式定位系統之研發	謝宏麟;林紀穎
國立臺灣科技大學	2012	多自由度外差式光柵干涉儀用於位移及幾何誤差量測之開發	謝宏麟
國立彰化師範大學	2004	針對壓電致動器運動位移之控制器設計	謝宏麟

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