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國立臺灣科技大學 2004 在氮化鉭基材上使用銦及鈀等表面活性劑對於以1,1,1,5,5,5-六氟-2,4-戊二酮-1,5-環辛二烯銅為先驅物之化學氣相沉積銅膜的影響 謝政吉

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