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國立交通大學 2014-12-12T02:17:02Z 低介電常數旋塗式玻璃薄膜之化學機械拋光特性研究 張仕宗; Chang, Shih-Tzung; 馮明憲, 戴寶通; Ming-Shiann Feng, Bau-Tong Dai
國立交通大學 2014-12-12T02:14:49Z 以電漿輔助化學氣相沈積低介電常數之含氟氧化物薄膜的化學機械研磨技術與材料特性研究 謝元智; Hsieh, Yuan-Tsu; 馮明憲, 戴寶通; Feng Ming-Shiann, Dai Bau-Tong

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