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國立交通大學	2014-12-12T02:15:34Z	使用大氣壓式與半大氣壓式化學氣相沉積法成長二氧化矽應用於多層複晶製程上填隙能力之研究	魏正泉; Wei, Zin-Chein; 鄭晃忠; Cheng　Huang-Chung

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