臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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Institution	Date	Title	Author
國立交通大學	2014-12-16T08:15:02Z	半導體奈米技術	龍文安
國立交通大學	2014-12-16T08:15:01Z	積體電路微影製程	龍文安
國立交通大學	2014-12-13T10:50:02Z	相同劑量下45奈米節點微影全程禁止間距及圖罩偏差增大因子之改善與相關薄膜研製	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:40:33Z	高敏感光罩用電子束阻劑系統之研究	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:39:19Z	0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳化模擬及其研製	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:39:03Z	嵌附調細式相移光罩研製	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:38:25Z	嵌附減光式相移光罩吸光相移層研製	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:38:08Z	電子束微影近距效應校正參數求測	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:37:46Z	嵌附式減光式相移光罩之模擬與製備	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:36:53Z	嵌附式減光型相移圖罩之模擬與製備	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:36:53Z	電子束微影之鄰近效應修正	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:36:17Z	193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:34:53Z	193奈米微影解像度增進技術---高透射率嵌附層之研製、應用探討與模擬	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:33:37Z	高透射率嵌附層、唯相移層、極短紫外光反射式圖罩吸收層與緩衝層之材料、電漿蝕刻與性質探討(I)	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:32:33Z	193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:32:12Z	193奈米微影高透射率嵌附層應用於透射率控制圖罩之模擬、材料、蝕刻與性質探討	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:30:11Z	193奈米高透射率嵌附層之研製與應用於橫電偏振光、偏軸發光、減光型相移圖罩組合之濕浸式微影成像特性模擬探討	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-13T10:29:32Z	193奈米高透射率嵌附層之研製與作為濕浸式微影光學鄰近效應修正用散條之性質探討	龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-12T02:57:24Z	以全條減光散條及陣列減光散條增進焦深改善禁止間距之模擬	呂廷軒; 龍文安
國立交通大學	2014-12-12T02:47:02Z	以散條增進焦深與改善禁止間距之模擬及全條減光散條之製備	胡繼仁; 龍文安
國立交通大學	2014-12-12T02:31:26Z	多孔性低介材SiOC研究與探討	陳尹川; Chen Yin-chuan; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-12T02:31:26Z	193奈米微影用鉬矽氧氮高透射率嵌附式減光型相移圖罩材質之研究	張曜宇; Chang Yao-yu; 龍文安; Dr. Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-12T02:31:26Z	高密度電漿化學氣相沉積製備低介材SiOC:H 之薄膜特性研究	蔡元浩; Tsai Yuan-hau; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-12T02:29:01Z	以實驗設計法探討高透射率減光型相移圖罩最適化	林賢雲; Lin Hsien-yun; 龍文安; Loong Wen-an
國立交通大學	2014-12-12T02:29:01Z	氮化鈦薄膜與低介材HSQ應用於銅金屬製程之性質研究	鄭淳元; Cheng Chun-yuan; 龍文安; Dr. Loong Wen-an

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